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LG전자 등 공동 연구로 ‘OLED 성능 향상 증착장비’ 개발

작성일
2020-05-07
작성자
관리자
조회
517
  • 첨부파일. 등록된 첨부파일이 없습니다.
최경현 제주대 교수 연구팀이 개발한 ‘롤투롤 연속공정 기반 저온상압 패턴 증착 장비’. (사진=한국디스플레이연구조합)

[이데일리 김종호 기자] 한국디스플레이연구조합은 최경현 제주대 교수 연구팀이 산·학·연 공동 연구 결과로 ‘롤투롤 연속공정 기반 저온·상압 패턴 증착 장비(ALD)’를 개발했다고 1일 밝혔다.

ALD는 원자층 증착법을 이용한 증착공정 기술이다. ALD 금속을 포함한 원료와 반응 가스를 교차하며 주입해 원자 단위로 박막을 성장시키는 방식이다. 균일도가 높은 치밀한 박막을 넓은 면적으로 성장시킬 수 있어 기존의 CVD 방식보다 플렉서블 유기발광다이오드(OLED) 패널의 수명과 성능을 끌어올릴 수 있다.

제주대 연구팀은 ALD의 양산성을 개선한 저온·상압 환경에서의 고품질 및 고균일한 박막 패턴 제조가 가능한 원천 기술과 롤투롤 연속공정을 통해 고품질, 고균일성을 갖는 박막 패턴 원천 기술을 적용한 공정 장비를 개발했다. 유연성 필름소재에 증착 공정을 적용하기 위한 시간 분할 형태, 저온·상압 환경에서의 공정조건을 달성, OLED 봉지막 형성 공정방식에 새로운 가능성을 제시했다는 평가를 받는다.

 

최 교수는 “선택적 박막 패턴 증착 기술에 대한 원천기술을 확보해 스마트 디바이스 산업 및 시장에서 새로운 공정 및 장비 산업을 창출하고 본 개발 장비로 고품질의 스마트 디바이스 대량 생산이 가능할 것”이라고 말했다.

한편 이번 연구는 산업통상자원부의 산업원천기술개발사업을 통해 약 5년간 62억원을 지원받아 수행됐다. 연구에는 LG전자(066570)와 LG디스플레이(034220), 토바, 한국생산기술연구원, 건국대, 경희대 등이 참여했다.

[기사출처 : 이데일리 2020.05.01]

- 기사링크 : https://www.edaily.co.kr/news/read?newsId=02079526625764656&mediaCodeNo=257&OutLnkChk=Y

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